0.6nm(15kV)，0.7nm（1kV减速模式）
20X - 2 000 000X
0.5kV - 30kV，着陆电压0.01-20kV
EDAX Elect Super
1．金属、陶瓷、高分子、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、生物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察和分析。
2．各种材料微区化学成分的定性和半定量检测。
3．粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定。
4．复合材料界面特性的研究。
