配有单色化Al/Ag双阳极X射线源（XPS），荷电中和器，深度剖析离子枪，He紫外光源（UPS），惰性气体保护样品传输器等

• 除H、He以外的元素分析；材料表面元素的定性及半定量分析；元素价态分析；半导体的价带结构分析（UPS，XPS-VB）；材料内部的深度刻蚀剖析（纳米级别）；化学成像；不稳定样品隔绝空气制样（在手套箱中）。

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• 1、 粉末样品：粉末要研细、且稳定、干燥，无磁性、无腐蚀性、无挥发性；用量10-20 mg，存放在小试管里，易粘试管壁的粉末样品需要量多一点。

• 2、 硅片、玻璃、极片或薄膜样品：尺寸在（3-4）mm*（3-4）mm，且样品要注明测试面。

• 3、XPS及UPS测试均不做表面清洁，如需清洁请特别注明。UPS测试深度在3 nm左右，不做表面清洁的样品需新鲜，不应在大气环境中放置过久。

• 4、UPS样品尺寸（3 mm-4 mm）*10 mm，若样品数为单数，需准备一个同样大小及高度的空白样。UPS测试对样品导电性要求高，不建议粉末样品直接做UPS测试。若是粉末样品做UPS测试，可将样品旋涂在导电基底上（如硅片、ITO、FTO等导电基底），旋涂均匀且厚度不能太厚，大于20 nm即可。如果样品导电性不好而且只需测试VB，可以用XPS来测VB，不需测UPS。拿到VB-XPS数据，只需按照普通元素定标的方法来定标即可。

• 5、UPS样品只在周一集中测试。

• 6、XPS不能测H、He元素，含I元素样品要特别注明。收到测试结果后，务必用C 1s峰（284.8 eV）定标以及扣本底做定量分析。

• 7、预约成功后，具体的制样和测试时间以邮件通知为准。

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